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陈新; 陈春华; 王佑祥;
中科院表面物理国家重点开放实验室;
中科院半导体研究所;
二次离子质谱; 溅射速率; 一次离子束能量;
机译:用能量分辨质谱仪测量离子化直流溅射中的离子能量分布
机译:电离功率对电离r中离子能量分布的影响。 F。用能量分辨质谱仪测量溅射
机译:用于Ar +溅射的紧凑型角分辨二次离子质谱仪的开发
机译:一种配备有另外的离子枪的两种磁控溅射沉积室,用于通过同步辐射散射的薄膜生长和表面改性的诸如薄膜生长和表面改性的额外的离子枪
机译:部分〜1。产生铯(+)和碘(-)离子的双离子源,用于二次离子质谱分析。第二部分用反射飞行时间质谱仪研究基质辅助激光解吸。
机译:用于二次离子质谱的真空电喷雾液滴离子枪的研制
机译:具有多种GA比率,初级电压和二次离子质谱法的初级电压和入射角的Cu(In,Ga)Se2吸收层的溅射速率测量
机译:能量和角度分辨二次离子质谱仪的设计和性能
机译:离子束辐照装置,二次离子质谱仪,离子束辐照方法和二次离子质谱仪
机译:液态金属离子源,二次离子质谱仪,二次离子质谱仪分析方法及其用途
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