SiO_(2)/IDT/AlN/Diamond多层结构中声表面波传输特性的有限元分析

张祖伟; 李小飞; 袁宇鹏; 杨靖

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基于COMSOL软件对SiO_(2)/IDT/AlN/Diamond多层结构中声表面波(surface acoustic wave,SAW)传输特性进行有限元(finite element method,FEM)分析。深入分析了多层结构中声波的色散特性,直观地展现了表面波向漏表面波的转化过程,研究了Al电极层厚度和SiO_(2)缓冲层厚度对声表面波的影响。基于微加工工艺研制出一系列不同结构的声表面波谐振器,并对其频率响应特性进行了测试。测试结果与仿真结果基本一致,其中,1阶模式的声表面波表现出较好的应用潜力,可用于声表面波滤波器的研制。

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来源
《重庆邮电大学学报：自然科学版》 |2021年第5期|714-722|共9页
作者
张祖伟; 李小飞; 袁宇鹏; 杨靖;
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作者单位

中电科技集团重庆声光电有限公司;

重庆400060;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类集成光学器件;超声的传播;
关键词
声表面波; 有限元仿真; 多层结构;

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