半导体制造刻蚀设备调度算法

郑彦东

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半导体制造刻蚀设备调度算法

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cqvip:半导体生产线是目前世界上公认的最复杂的制造系统,刻蚀设备是半导体晶圆制造过程中最复杂的系统,刻蚀设备的调度算法是系统生产管理控制的核心功能。目前国内大多数的研究都是针对于fab级别的任务调度,而针对单独的刻蚀设备的优化算法的研究很少。提出一种基于规则的实时晶圆调度算法,力求实现生产周期缩短、提高设备产能的目标。

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来源
《计算机应用》 |2010年第12期|P.280-281|共2页
作者
郑彦东;
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作者单位

郑彦东天津市信息中心天津300040;

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正文语种 chi
中图分类计算机的应用;
关键词
调度算法; 半导体; 晶圆; 刻蚀设备;

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