介质阻挡放电及其在聚合物表面刻蚀中的应用

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• 来源
  《东华大学学报（自然科学版）》 |2008年第1期|122-126|共5页
• 作者

  周荃; 夏磊; 徐金洲; 郭颖; 张菁;

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• 作者单位

  东华大学,理学院,上海,201620;

  东华大学,理学院,上海,201620;

  东华大学,理学院,上海,201620;

  东华大学,理学院,上海,201620;

  东华大学,理学院,上海,201620;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 等离子体物理的应用;
• 关键词

  介质阻挡放电(DBD); 等离子体; 聚合物; 表面处理;