掺钛氧化锌纳米薄膜微结构及其光电性能研究

陈真英; 聂鹏; 廖庆佳; 黄文华; 孟炎; 熊定康; 邓文

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采用射频磁控溅射法,以不同保温时间的掺钛氧化锌为靶材在普通玻璃衬底上制备了TZO(掺钛氧化锌)薄膜样品,测试其微结构和光电性能,从而获得制备性能优越的TZO薄膜所需靶材的最佳条件.测试结果表明,所有样品均为具有c轴择优取向的六角铅锌矿多晶纳米薄膜;靶材烧结温度和保温时间对薄膜微结构和光电性能有较大影响;以经1 500℃烧结并保温6h的靶材所制备的薄膜光电性能较好,具有较大晶粒尺寸,在可见光区(400～760 nm)有较高的平均透过率91.16％,较低电阻率1.07×10-4Ω·cm,较高的载流子浓度和较大迁移率.

著录项

来源
《功能材料》 |2016年第1期|1077-1081|共5页
作者
陈真英; 聂鹏; 廖庆佳; 黄文华; 孟炎; 熊定康; 邓文;
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作者单位

广西大学物理科学与工程技术学院,南宁530004;

广西大学行健文理学院,南宁530004;

广西大学物理科学与工程技术学院,南宁530004;

广西大学物理科学与工程技术学院,南宁530004;

广西大学物理科学与工程技术学院,南宁530004;

广西大学物理科学与工程技术学院,南宁530004;

广西大学物理科学与工程技术学院,南宁530004;

广西大学物理科学与工程技术学院,南宁530004;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类功能材料;
关键词
掺钛氧化锌薄膜; 磁控溅射; 保温时间; 微结构; 光电性能;

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