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汪振中; 褚夫同; 刘兴钊;
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都610054;
AlN; 中频反应溅射; Raman光谱;
机译:非平衡磁控反应溅射生长高c轴取向AlN膜及其电学性能
机译:射频磁控反应溅射AlN薄膜的光学模型
机译:中频反应溅射技术制备[0 0 2]取向AlN薄膜
机译:中频磁控反应溅射沉积TiO_2薄膜的表征与润湿性
机译:高频反应溅射制备铁基磁性氧化物薄膜的磁和介电性能
机译:溶胶-凝胶法和磁控反应溅射制备Eu掺杂ZnO薄膜的结构性能与能量转移的相关性
机译:衬底温度对直流磁控反应溅射制备ZAO薄膜的影响
机译:用于mEms应用的低应力alN压电薄膜的直流磁控反应溅射
机译:用较小的溅射阴极对大衬底上的薄膜磁控脉冲溅射直流磁控反应溅射的方法和装置
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