掺氮类金刚石薄膜激光退火的Raman光谱研究

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• 来源
  《功能材料》 |2001年第5期|473-474,477|共3页
• 作者

  居建华; 夏义本; 张伟丽; 王林军; 史伟民; 黄志明; 李志锋; 郑国珍; 汤定元;

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• 作者单位

  中国科学院上海技术物理研究所;

  上海大学材料科学与工程学院;

  中国科学院上海技术物理研究所;

  上海大学材料科学与工程学院;

  上海大学材料科学与工程学院,;

  上海大学材料科学与工程学院,;

  上海大学材料科学与工程学院,;

  中国科学院上海技术物理研究所;

  中国科学院上海技术物理研究所;

  中国科学院上海技术物理研究所;

  中国科学院上海技术物理研究所;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 薄膜技术;
• 关键词

  类金刚石薄膜; 激光退火; 拉曼光谱; 热稳定性;