退火气氛对SrTiO3薄膜电学性能的影响

王晓飞; 胡秋波

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退火气氛对SrTiO3薄膜电学性能的影响

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在不同的退火气氛下,采用金属有机物分解法在(111) Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了SrTiO3薄膜材料,并对其结构和电学性能进行了研究.X射线衍射结果显示SrTiO3薄膜都呈现多晶立方钙钛矿结构.对比不同气氛下制备出的SrTiO3样品电学测量结果,发现在氧气氛中退火后,样品具有较低的漏电流和较好的介电性能,这可能是由于氧气氛中退火减少了SrTiO3薄膜内氧空位的浓度引起的.

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来源
《河南科技大学学报（自然科学版）》 |2011年第4期|5-7|共3页
作者
王晓飞; 胡秋波;
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作者单位

河南科技大学物理与工程学院,河南洛阳471003;

洛阳理工学院数理部,河南洛阳471023;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的性质;
关键词
SrTiO3; 漏电流; 介电常数; 介电损耗;

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