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用掩模分离法制备微型红外滤光片列阵的工艺研究

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介绍了在研制微型红外滤光片中将半导体器件制作工艺与基本ＰＶＤ方法结合而成的掩模分离方法，及其制备微型滤光片和将几种滤光片集成在一起的工艺方法，报道了阶段性研究结果。

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来源
《红外与毫米波学报》 |1994年第2期|109-112|共4页
作者
程实平; 张凤山;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类红外光学器件;
关键词
掩模; 微型滤光片; 列阵; 滤光片;

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