首页> 中文期刊> 《光学仪器》 >组合镀膜法制备集成滤光片列阵

组合镀膜法制备集成滤光片列阵

         

摘要

为实现集成滤光片列阵在单片衬底上的高效制备,提出组合镀膜法,通过磁控反应溅射,以Nb2O5和SiO2为介质材料,仅通过8次镀膜就成功制备出了集成64通道的滤光片面阵.滤光片面阵的总体尺寸只有12mm×12mm,各个滤光片通道基本呈线性分布在720.5nm~877.2nm之间,带宽在1.82nm~3.92nm之间.结果表明,组合镀膜法是一种高效的集成滤光片列阵制备方法.

著录项

  • 来源
    《光学仪器》 |2006年第4期|124-128|共5页
  • 作者单位

    中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海,200083;

    合肥微尺度物质科学国家实验室(筹),中国科学技术大学-Shincron联合实验室,中国科学技术大学,安徽,合肥,230026;

    中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海,200083;

    合肥微尺度物质科学国家实验室(筹),中国科学技术大学-Shincron联合实验室,中国科学技术大学,安徽,合肥,230026;

    中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海,200083;

    中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海,200083;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 集成光学器件;
  • 关键词

    组合; 镀膜; 集成; 滤光片; 列阵;

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号