靶基距对Mg掺杂TiO2薄膜厚度及结构的影响

赵倩; 林启民; 谢程超; 杨越

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靶基距对Mg掺杂TiO2薄膜厚度及结构的影响

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利用台阶仪、X-射线衍射仪分别研究了薄膜厚度及物相.实验结果表明:随着靶基距的减小,薄膜的厚度增加,而对于纯TiO2主峰的衍射峰强度增加;除了靶基距为4 cm的薄膜中有锐钛矿结构的MgTi2O5杂相之外,其它靶基距的薄膜均为TiO2的锐钛矿与金红石的混合相;在靶基距为6 cm时锐钛矿相TiO2的晶粒尺寸最大,大小为34 nm;在靶基距为7 cm时金红石相TiO2的晶粒尺寸最大,大小为11.5 nm.

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来源
《内蒙古科技大学学报》 |2016年第1期|19-22|共4页
作者
赵倩; 林启民; 谢程超; 杨越;
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作者单位

内蒙古自治区白云鄂博矿多金属资源综合利用重点实验室,内蒙古包头014010;

内蒙古科技大学数理与生物工程学院,内蒙古包头014010;

内蒙古自治区白云鄂博矿多金属资源综合利用重点实验室,内蒙古包头014010;

内蒙古科技大学数理与生物工程学院,内蒙古包头014010;

内蒙古科技大学数理与生物工程学院,内蒙古包头014010;

内蒙古科技大学数理与生物工程学院,内蒙古包头014010;

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正文语种 chi
中图分类凝聚态物理学;物质的结构;
关键词
TiO2薄膜; 磁控溅射; 靶基距;

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