硼磷共掺杂n型金刚石薄膜的Hall效应、红外光谱和EPR研究

著录项

• 来源
  《无机材料学报》 |2004年第4期|895-901|共7页
• 作者

  胡晓君; 李荣斌; 沈荷生; 戴永兵; 何贤昶;

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• 作者单位

  上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海,200030;

  上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海,200030;

  上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海,200030;

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  上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海,200030;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 天然磨料开采;薄膜物理学;
• 关键词

  金刚石薄膜; 共掺杂; n型; 电阻率;