热丝辅助ECR CVD制备cBN薄膜

张生俊; 陈光华

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立方氮化硼(cBN)是一种具有广泛应用价值的Ⅲ-V族二元化合物,其优异性质可与金刚石相比拟或胜之.立方氮化硼的制备与性能研究是近二十年来材料领域关注的焦点之一.我们用热丝辅助ECR CVD方法制备了cBN薄膜,并初步探讨了热丝对cBN形成的作用.偏压并不是cBN形成的唯一主要条件,活性粒子也有非常关键的作用.

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来源
《无机材料学报》 |2003年第4期|947-950|共4页
作者
张生俊; 陈光华;
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作者单位

北京工业大学材料学院新型功能材料教育部重点实验室,北京,100022;

北京工业大学材料学院新型功能材料教育部重点实验室,北京,100022;

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正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
cBN; ECR CVD; 热丝;

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