溅射功率对磁控溅射法制备MgF2薄膜组织和性能的影响

著录项

• 来源
  《无机材料学报》 |2020年第9期|1064-1070|共7页
• 作者

  赵长江; 马超; 刘俊成; 刘治钢; 陈燕;

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• 作者单位

  天津工业大学材料科学与工程学院 天津 300387;

  天津工业大学分离膜材料与膜过程国家重点实验室 天津 300387;

  北京空间飞行器总体设计部 北京 100086;

  天津工业大学材料科学与工程学院 天津 300387;

  天津工业大学分离膜材料与膜过程国家重点实验室 天津 300387;

  天津工业大学材料科学与工程学院 天津 300387;

  天津工业大学分离膜材料与膜过程国家重点实验室 天津 300387;

  北京空间飞行器总体设计部 北京 100086;

  北京空间飞行器总体设计部 北京 100086;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 特种结构材料;光电池;玻璃工业;
• 关键词

  MgF2薄膜; F贫乏; 透光率; 减反射; 溅射功率; 磁控溅射;