亚单层铜薄膜生长的动力学蒙特卡罗模拟

范涛; 于峰; 任广斌; 秦湘阁

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亚单层铜薄膜生长的动力学蒙特卡罗模拟

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建立了亚单层铜薄膜生长的三维模型,用动力学蒙特卡罗方法对亚单层铜薄膜的生长过程进行了模拟,研究了衬底温度和沉积速率对亚单层铜薄膜生长的影响,结果表明,随衬底温度升高和沉积速率降低,岛形状由离散型逐渐转变为紧致型,形成近四方形的岛,岛的平均尺寸急剧增大,岛的数目迅速减少,衬底温度达到一定值之后,岛的数目基本不变.

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来源
《佳木斯大学学报：自然科学版》 |2008年第2期|172-174|共4页
作者
范涛; 于峰; 任广斌; 秦湘阁;
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作者单位

佳木斯大学材料科学与工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
亚单层; 铜薄膜生长; 扩散; 动力学蒙特卡罗模拟;

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