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金刚石薄膜热敏器件特性

         

摘要

本文采用热丝CVD方法和在以石英为衬底的金属钛梳状微电极上制备出的均匀致癌,结晶完整的金刚石薄膜,制成了金刚石薄膜热敏器件,对其热敏特性的测试结果表明,该热敏元件具有检测温度范围宽、响应快,灵敏度高,性能稳定等优点。

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