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金刚石薄膜在热敏打印头上的应用

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摘要

首次报道了用微波等离子体化学气相沉积（ＭＷＣＶＤ）技术在ＴａＮ２电阻材料上沉积高质量金刚石薄膜的制备工艺，以及扫描电镜、Ｘ射线衍射、拉曼光谱、压痕测试的测试结果。

著录项

来源
《兰州大学学报：自然科学版》 |1996年第4期|40-43|共4页
作者
王志勇; 姚江宏; 韩立; 陈光华;
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作者单位

兰州大学物理系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类打印装置;
关键词
金刚石; 薄膜; 热敏打印机; 打印机; 热敏打印头;

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