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溶胶-凝胶法薄膜制备工艺及其应用

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摘要

简要评述了近年来溶胶－凝胶薄膜制备工艺的最新进展及其应用．与传统的薄膜制备工艺相比，溶胶－凝胶薄膜制备工艺过程温度低、设备简单、易于应用推广，可以在各种形状的基体上制得多元氧化物等优点，溶胶－凝胶薄膜制备工艺已在电子、光学、磁学、化学等各个领域得到广泛应用．

著录项

来源
《昆明理工大学学报：自然科学版》 |1997年第1期|142-145|共4页
作者
甘国友; 郭玉忠; 苏云生;
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作者单位

昆明理工大学材料工程系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜技术;薄膜的生长、结构和外延;
关键词
薄膜; 溶胶-凝胶法; 制备; 工艺; 氧化物薄膜;

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