溶胶-凝胶法制备工艺参数对Al2O3-SiO2薄膜质量的影响

同帜; 邹力; 崔双科; 李大川

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溶胶-凝胶法制备工艺参数对Al2O3-SiO2薄膜质量的影响

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采用溶胶-凝胶法制备Al2O3-SiO2复合薄膜,研究溶胶成分、水解反应温度、热处理环境及烧结温度对薄膜质量的影响.通过黏度测试、热重分析仪(TG-DTG)、X射线衍射分析仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对样品进行表征.结果表明,溶胶的组成与热处理过程中的应力不均是导致薄膜开裂的主要原因.当Al2O3∶ SiO2(mol/mol)=1∶3或1∶2,水解反应温度为40℃,热处理环境湿度70％,温度60℃,以0.5℃/min的升温速率升至600℃焙烧2h,缓慢升温且适当保温,可得完好的Al2O3-SiO2复合薄膜,所制备的块状薄膜,无裂缝且均匀透明.

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来源
《粉末冶金材料科学与工程》|2012年第6期|818-824|共7页
作者
同帜; 邹力; 崔双科; 李大川;
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作者单位

西安工程大学环境与化学工程学院,西安710048;

西安工程大学环境与化学工程学院,西安710048;

陕西省现代建筑设计研究院,西安710048;

陕西省现代建筑设计研究院,西安710048;

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正文语种 chi
中图分类无机合成化学;
关键词
溶胶-凝胶; Al2O3-SiO2复合薄膜; 防开裂;

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