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多孔硅形成机理研究的新进展

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摘要

更深入地分析了多孔硅形成的几种模型 ,对影响多孔硅形成的几个关键因素提出了新观点 ,描述了多孔硅的形成过程的一些特性。

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来源
《辽宁大学学报：自然科学版》 |2003年第1期|93-96|共4页
作者
付世; 丁德宏; 姚朋军; 单新华; 沈桂芬;
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作者单位

辽宁大学物理系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.12;
关键词
多孔硅; 形成机理; 晶向; 散射; 孔隙度; 研究进展; 半导体材料; 反应剂;

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