基于计算全息的零位补偿干涉检测

马云; 时中荣; 潘国柱

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基于计算全息的零位补偿干涉检测

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光学面形的检测精度直接影响成像系统的性能,对基于计算全息的补偿干涉检测技术进行了研究,针对共轴计算全息的衍射波面在成像中心区域发生重叠,形成测试盲区这一问题,采用离轴计算设计方案对非球面的面形进行测量,检测方案采用分光路干涉结构,用离轴计算全息和会聚透镜组构成联合补偿器对波面进行零位补偿并分离衍射级次,完成非球面面形的干涉检测.结果表明,该方案能够消除测试盲区,同时测得全口径面形数据,并保持了良好的精度.

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来源
《辽宁大学学报：自然科学版》 |2020年第4期|306-311|共6页
作者
马云; 时中荣; 潘国柱;
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作者单位

皖西学院电气与光电工程学院;

安徽六安237012;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类物理光学仪器;
关键词
计算全息; 零位检测; 光学面形; 干涉; 非球面;

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