退火温度对FeCoTiO纳米颗粒膜软磁性能的影响

郭韦; 张明; 倪经; 周俊; 何禹含

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退火温度对FeCoTiO纳米颗粒膜软磁性能的影响

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采用射频磁控溅射法制备FeCoTiO纳米颗粒膜,在不同温度下进行退火处理,研究退火温度对其磁性能的影响.结果表明,随着退火温度的升高,在低于200°C时薄膜受应力变化机制影响较大,体现为矫顽力Hc、各向异性场Hk、截止频率fr降低,磁导率实部μ′增大;在高于200°C时以晶粒长大机制为主,体现为Hc、Hk、fr增高,μ′减小.综合考虑FeCoTiO纳米颗粒膜磁性能在各退火温度下的表现,在制备集成磁膜微电感的过程中,确定250°C是聚酰亚胺的最佳高温胶联化温度.

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来源
《磁性材料及器件》 |2021年第1期|1-4|共4页
作者
郭韦; 张明; 倪经; 周俊; 何禹含;
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作者单位

西南应用磁学研究所四川绵阳 621000;

西南应用磁学研究所四川绵阳 621000;

西南应用磁学研究所四川绵阳 621000;

西南应用磁学研究所四川绵阳 621000;

电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室四川成都 610054;

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正文语种 chi
中图分类软磁材料;
关键词
FeCoTiO纳米颗粒膜; 退火; 软磁性能;

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