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戚学贵; 陈则韶; 王冠中;
中国科学技术大学,;
热丝化学气相沉积; 金刚石; 温度场; 薄膜生长;
机译:热丝CVD法模拟硅片上金刚石薄膜生长中衬底温度分布
机译:通过热丝化学气相沉积法将微晶金刚石合成为超纳米晶金刚石膜并进行表征,以扩展至大面积应用
机译:热丝辅助化学气相沉积法从氢气中的二硫化碳在多晶<110>金刚石基底上的金刚石生长速率
机译:热丝化学气相沉积法对多晶掺杂金刚石进行沉积和表征。
机译:通过热丝化学气相沉积将钒掺杂到纳米晶金刚石膜中
机译:用热丝CVD法模拟硅片上金刚石薄膜生长中衬底温度分布
机译:热丝辅助金刚石沉积过程中基体表面温度分布的模拟。
机译:热丝化学气相沉积法合成金刚石或类金刚石薄膜
机译:热丝化学气相沉积法的金刚石沉积方法
机译:金属有机化学气相沉积法和基质再利用对大面积III-V薄膜生长的无损表皮剥离
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