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WOx薄膜结晶特性的HREM和STM研究

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对反应溅射沉积的WOx薄膜在电致变色反应中结晶性能的变化进行了研究.结果表明:电致变色反应增加了薄膜的晶体特性,使着退色WOx薄膜的选区电子衍射呈现明显的多晶环特性,而原始沉积态WOx薄膜为非晶光晕衍射特性.STM分析得知,电致变色反应使薄膜的表面形貌也发生了剧烈的变化.

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来源
《材料工程》 |1999年第5期|39-42|共4页
作者
燕峰; 王晓光;
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作者单位

鞍山钢铁学院;

沈阳真空技术研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜技术;
关键词
电致变色反应; 晶体特性; HREM; STM;

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