混合物薄膜折射率与膜孔洞率关系研究

陈哲; 高伯龙

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混合物薄膜折射率与膜孔洞率关系研究

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本文对TiO_2和Ta_2O_5混合膜进行了单源共蒸发实验研究。在实验结果的基础上,提出了一个拟合TiO_2、Ta_2O_5混合膜系孔洞率的经验公式,并对混合膜的折射率的计算过程进行了改进。结果表明:理论计算与实验数据符合较好;混合物薄膜可能形成孔洞率较小的膜层,从而导致混合物薄膜折射率随混合百分比的变化曲线出现峰值。

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来源
《国防科技大学学报》 |1990年第1期|52-58|共7页
作者
陈哲; 高伯龙;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类薄膜的性质;
关键词
薄膜; 混合物; 折射率; TiO2; Ta2O5;

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