首页> 中文会议>上海市激光学会2015年学术年会 >退火对Nb2O5薄膜的折射率和厚度的影响

退火对Nb2O5薄膜的折射率和厚度的影响

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

Nb2O5是一种具有高折射率、化学稳定性和耐腐蚀性的半导体材料,作为一个优秀的镀膜材料,它已被广泛应电致变色材料、光学系统、催化和气体传感器.同时,Nb2O5也是一种具有多种晶体结构的氧化物,人们发现它存在TT-Nb2O5(六方),T-Nb2O5(正交),M-Nb2O5(四方)和H-Nb2O5(单斜)等晶体结构,这些结构可以通过加热得到.在这些结构中,TT-Nb2O5可以在较低的温度处理获得,而T-Nb2O5可以通过较高的温度处理获得.不同退火温度对Nb2O5薄膜的晶体结构、厚度和光学性质的影响.

著录项

来源
《上海市激光学会2015年学术年会》|2015年|171|共1页
会议地点上海
作者
赵冬冬; 郑玉祥; 张金波; 杨尚东; 杨辽; 刘谆骅; 陈良尧;
展开▼
作者单位

上海市激光学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.21:TN304.055;
关键词
半导体材料; 五氧化二铌薄膜; 退火温度; 晶体结构; 厚度控制; 光学性质;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 用模拟退火法确定MgF2薄膜折射率和厚度 [J] . 郭春 ,李斌成 . 光学精密工程 . 2013,第004期
2. 薄膜厚度和退火温度对纳米多晶硅薄膜特性影响 [J] . 赵晓锋 ,温殿忠 ,王天琦 . 功能材料 . 2010,第010期
3. 分光计的调整对椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率的影响 [J] . 杨昌虎 ,杨力君 . 实验技术与管理 . 2005,第011期
4. 厚度对反铁电锆酸铅薄膜光学折射率的影响 [J] . 刘奇能 ,唐新桂 . 压电与声光 . 2004,第1期
5. SiN_X覆盖层厚度对非晶In-Ga-Zn-O薄膜退火晶化的影响研究 [J] . 胡浩威 ,井津域 ,李钦 . 人工晶体学报 . 2019,第5期
6. 透明薄膜折射率及膜层厚度的数值反演 [C] . WU Ying-li ,武颖丽 ,YIN Wei-ke . 陕西省物理学会2013年学术年会 . 2013
7. 光学薄膜折射率和厚度测试技术及研究 [A] . 胡容 . 2004

退火对Nb2O5薄膜的折射率和厚度的影响

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅