下底层Ti引导制备Co-Pt垂直磁记录薄膜的研究

肖娜; 裴文利; 赵骧; 秦高梧

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下底层Ti引导制备Co-Pt垂直磁记录薄膜的研究

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在加热的玻璃基板上,通过磁控溅射的方法沉积金属Ti作为下底层,然后沉积不同成分的Co1-x-Ptx(x=0,15%,26%,35%)磁性薄膜.利用振动样品磁强计(VSM)和X射线衍射技术(XRD)分析了薄膜的磁性能和晶体结构.结果表明Pt原子分数对Co-Pt晶格常数有重要影响,随着Pt原子分数的增加,Co晶格常数(a,c)增大,从而减小Co-Pt与下底层Ti在(00.2)晶面之间的错配度,有利于c轴取向垂直膜面排列,获得了较好的磁性能.引入Ti和SiO2共溅射制备下底层,研究发现随着SiO2体积分数的增加,Co-Pt薄膜的垂直磁性能得到改善.

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来源
《东北大学学报：自然科学版》 |2010年第10期|1410-1413|共4页
作者
肖娜; 裴文利; 赵骧; 秦高梧;
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作者单位

东北大学材料各向异性与织构教育部重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类磁性材料;
关键词
Co-Pt合金; 取向; Ti下底层; 晶格常数; 晶粒尺寸;

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