基于Arnoldi算法的MEMS微梁的宏建模

吕湘连; 苑伟政; 李伟剑; 霍鹏飞; 姜澄宇

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基于Arnoldi算法的MEMS微梁的宏建模

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微机电系统通常涉及机、电、流体、热等多个耦合能量域,其设计与分析需要通过宏建模来降低复杂度.论文根据系统传递函数矩匹配原理,提出将Arnoldi算法与Taylor展开相结合来实现MEMS器件行为的宏建模,建立了典型MEMS微梁的宏模型.与有限差分法相对比,该方法可以较准确地实现MEMS器件的快速动态仿真.

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来源
《西北工业大学学报》 |2005年第3期|411-415|共5页
作者
吕湘连; 苑伟政; 李伟剑; 霍鹏飞; 姜澄宇;
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作者单位

西北工业大学,微/纳米系统实验室,陕西,西安,710072;

西北工业大学,微/纳米系统实验室,陕西,西安,710072;

西北工业大学,微/纳米系统实验室,陕西,西安,710072;

西北工业大学,微/纳米系统实验室,陕西,西安,710072;

西北工业大学,微/纳米系统实验室,陕西,西安,710072;

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正文语种 chi
中图分类结构;
关键词
MEMS; 宏建模; Arnoldi算法; Taylor展开;

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