音叉电容式微机械陀螺的误差源分析与消除

常洪龙; 苑伟政

首页> 中文期刊> 《西北工业大学学报》 >音叉电容式微机械陀螺的误差源分析与消除

音叉电容式微机械陀螺的误差源分析与消除

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

误差源是以弱小信号处理为特征的微机械陀螺精度提高的主要制约因素.分析了音叉电容式微机械陀螺由本身工作模式和加工误差造成的两类误差源,并探讨了相应的消除方法.首先采用分离电极方法消除了驱动模态位移电流对敏感模态输出信号的耦合;用半频驱动方法抑制了驱动电压信号通过寄生电容对输出信号的耦合;通过在玻璃基体上开槽减轻了梳齿电容的静电悬浮以及玻璃基体上的电荷累积现象.然后通过对驱动电压幅值的自动调节弥补了由加工误差所造成的驱动电容不匹配,并采用同步解调消除正交误差.分析结果表明这些误差源的消除可提高微机械陀螺的精度水平.

著录项

来源
《西北工业大学学报》 |2004年第6期|679-683|共5页
作者
常洪龙; 苑伟政;
展开▼
作者单位

西北工业大学,微/纳米系统实验室,陕西,西安,710072;

西北工业大学,微/纳米系统实验室,陕西,西安,710072;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类速度测量仪表;
关键词
音叉电容式; 微机械陀螺; 误差源; 耦合; 半频驱动;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 锚点耦合式双质量块音叉微机械陀螺的结构设计与振动分析 [J] . 张亚平 ,刘海鹏 ,管延伟 . 振动与冲击 . 2017,第021期
2. 间接连接型音叉振动式微机械陀螺的性能变异分析 [J] . 文永蓬 ,尚慧琳 . 机械设计与制造 . 2013,第007期
3. 一种音叉振动式微机械陀螺的性能变异分析 [J] . 王安麟 ,文永蓬 ,姜涛 . 中国机械工程 . 2009,第011期
4. 音叉振动式微机械陀螺固有频率的统计特性分析 [J] . 姜涛 ,王安麟 ,张颖 . 航空学报 . 2007,第001期
5. 音叉振动式微机械陀螺输出电容的统计特性分析 [J] . 姜涛 ,王安麟 ,刘广军 . 机械工程学报 . 2007,第8期
6. 音叉式石英微机械陀螺 [C] . 邹江波 . 第十一届全国遥测遥控技术年会 . 2000
7. 音叉电容式微机械陀螺接口电路设计研究 [A] . 蒋庆华 . 2004

音叉电容式微机械陀螺的误差源分析与消除

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅