InP基MOEMS可调谐器件的梁变形模拟

吴旭明; 王小东; 何国荣; 王青; 曹玉莲; 谭满清

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InP基微光机电系统(MOEMS)可调谐器件的梁在实验中常出现弯曲变形的现象,其原因是在生长的时候,As原子进入InP梁,产生了内部梯度应力.使用有限元分析软件,建立了一种无须测量内部应力的模拟梁变形的方法.模拟了单臂梁和双臂梁的弯曲变形情况,理论与实验吻合.研究了As原子浓度和梁厚度对梁变形情况的影响,结果表明降低As原子浓度和增大梁厚度都有助于抑制梁的变形.

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来源
《半导体学报》 |2007年第2期|280-283|共4页
作者
吴旭明; 王小东; 何国荣; 王青; 曹玉莲; 谭满清;
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作者单位

中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类滤波技术、滤波器;
关键词
微光机电系统; 可调谐; 变形; 梯度应力;

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