色散效应对GaAs太阳电池双层减反射膜的影响

白一鸣; 陈诺夫; 戴瑞烜; 王鹏; 彭长涛

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色散效应对GaAs太阳电池双层减反射膜的影响

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考虑双层减反射膜材料的折射率色散效应,采用光学干涉矩阵法计算了SiO2/ZnSe和SiO2/ZnS两种GaAs太阳电池双层减反射膜的反射率与波长的函数曲线,以及加权平均反射率随着顶层减反射膜SiO2厚度变化的函数曲线,并与未考虑色散效应的情况进行了对比.计算结果表明,色散效应对双层减反射膜的反射率有较大的影响,特别是对300～500nm波长范围的影响更大,且对不同材料的减反射膜的影响也是不同的.与未考虑色散效应的情况相比,考虑色散效应后,SiO2/ZnSe双层减反射膜的最小加权平均反射率从1.14%增加到1.55%,而SiO2/ZnS双层减反射膜的最小加权平均反射率却从1.49%减小到1.46%.

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来源
《半导体学报》 |2006年第4期|725-729|共5页
作者
白一鸣; 陈诺夫; 戴瑞烜; 王鹏; 彭长涛;
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作者单位

中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类材料;
关键词
色散效应; 加权平均反射率; 双层减反射膜; GaAs太阳电池;

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