SIMOX薄膜材料的红外光谱特性和薄膜厚度的非破坏性测量方法

卢殿通; P.L.F.Hemment

首页> 中文期刊> 《半导体学报》 >SIMOX薄膜材料的红外光谱特性和薄膜厚度的非破坏性测量方法

SIMOX薄膜材料的红外光谱特性和薄膜厚度的非破坏性测量方法

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

报道了 SOI材料薄膜厚度的非破坏性快速测量方法 ,详细地研究了 SIMOX材料的红外吸收光谱特性 ,求出了特征峰对应的吸收系数 .提出利用红外吸收光谱测量 SIMOX绝缘埋层厚度的非破坏性方法 ,并根据离子注入原理计算出表面硅层的厚度 .SIMOX薄膜的表层硅和绝缘埋层的厚度是 SOI电路设计时最重要的两个参数 ,提供的非破坏性测量方法 ,测量误差小于5% .在 SIMOX材料开发利用、批量生产中 ,用此方法可及时方便地检测 SIMOX薄膜的表层硅和绝缘埋层的厚度。

著录项

来源
《半导体学报》 |2000年第10期|993-998|共6页
作者
卢殿通; P.L.F.Hemment;
展开▼
作者单位

北京师范大学低能核物理研究所;

DepartmentofElectronicandElectricalEngineering;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的性质;
关键词
SIMOX薄膜; 红外光谱; 非破坏性测量; 薄膜厚度;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 硅膜厚度和背栅对SIMOX／SOI薄膜全耗尽MOSFET特性影响的研究 [J] . 魏丽琼 ,程玉华 ,孙玉秀 . 半导体学报：英文版 . 1995,第3期
2. SIMOX材料薄膜厚度的测量和分析 [J] . 李艳 ,卢殿通 . 北京师范大学学报：自然科学版 . 2003,第1期
3. 甘油氧化的光谱电化学傅里叶变换衰减全反射谱红外光谱薄膜流动池中硼酸镍层厚度的优化 [J] . Steffen Cychy ,Martin Muhler ,Sebastian Lechler . 催化学报 . 2021,第012期
4. 纳米多孔氧化铝薄膜厚度的反射光谱测量方法研究 [J] . 熊丹 ,章海军 ,张冬仙 . 光学仪器 . 2006,第002期
5. 近红外光谱快速测定健胃消食片薄膜包衣衣膜厚度研究 [J] . 吴建程 ,罗晓健 ,刘旭海 . 江西中医药 . 2018,第004期
6. SIMOX薄膜材料的红外光谱特性及其应用 [C] . 卢殿通 . 第七届全国固体薄膜学术会议 . 2000
7. 氧化钒薄膜材料及非制冷红外探测器微结构设计的研究 [A] . 吕宇强 . 2006

SIMOX薄膜材料的红外光谱特性和薄膜厚度的非破坏性测量方法

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅