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纳米级厚度的非晶碳基薄膜作为红外吸收材料的应用及非晶碳基薄膜的制备方法

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摘要

本发明提供了一种当厚度为纳米级别时仍然在宽波段范围内具有高红外吸收性能的薄膜材料——非晶碳基薄膜；并且提供了一种制备该薄膜材料的方法，将基体置于真空腔室中，在氩气氛围中，采用高功率脉冲磁控溅射石墨靶，在基体表面沉积非晶碳基薄膜，并且在沉积过程中对基体施加‑25V～‑100V的直流脉冲偏压。该方法工艺简单，制得的非晶碳基薄膜在纳米级厚度时在2.5～25微米波长范围内的红外吸收率大于20％，甚至大于25％，因此可作为超薄宽波段高红外吸收材料应用于红外探测器等器件中。

著录项

  • 公开/公告号CN108251807A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2018-07-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所;

    申请/专利号CN201810002607.1

  • 发明设计人 汪爱英;王丽;张栋;郭鹏;柯培玲;

    申请日2018-01-02

  • 分类号C23C14/35(20060101);C23C14/06(20060101);

  • 代理机构11327 北京鸿元知识产权代理有限公司;

  • 代理人陈英俊

  • 地址 315201 浙江省宁波市镇海区中官西路1219号

  • 入库时间 2023-06-19 05:51:03

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-05-08

    授权

    授权

  • 2018-07-31

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 申请日:20180102

    实质审查的生效

  • 2018-07-06

    公开

    公开

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