MEMS薄膜材料参数在线测试方法与技术

黄庆安; 刘祖韬; 李伟华; 李巧萍

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给出了一种MEMS薄膜材料参数的在线测试技术与方法.这种技术包括微测试结构图形、测试硬件设备和测试分析软件.它能够快速测试MEMS薄膜的主要性能参数,并且测试设备和测试方法都与集成电路测试方案兼容,即所有材料参数的测试与提取都通过电学激励与电学测量来实现.文中首先给出了测试技术与方法的工作原理,然后对用标准表面微机械加工工艺制作的多晶硅薄膜进行了测试,实验结果表明该测试技术与方法的测试效率高、成本低,具有一定的工业应用价值.

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来源
《半导体学报》 |2006年第9期|1650-1656|共7页
作者
黄庆安; 刘祖韬; 李伟华; 李巧萍;
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作者单位

东南大学微电子机械系统教育部重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类调整、测试;
关键词
MEMS; 薄膜; 材料参数; 在线测试;

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