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基于数据采集的MEMS薄膜材料参数在线测试系统

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本文建立了一套基于数据采集的MEMS薄膜材料参数在线测试系统.该系统包括测试图形,测试信号处理电路及外围附件和专用软件,能自动完成薄膜材料参数的在线测试.测试方法和测试设备简单,能用于工艺线上的在线测试.

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来源
《第八届中国微米/纳米技术学术年会》|2006年|1535-15371541|共4页
会议地点南京
作者
李巧萍; 李伟华;
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作者单位

中国微米/纳米技术学会;

中国仪器仪表学会;

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类结构;半导体热电器件、热敏电阻;
关键词
MEMS; 数据采集; 材料参数; 在线测试;

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