Monte　Carlo方法模拟背散射电子固体表面空间分布

谭震宇; 蒋定举; 何延才

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应用ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ方法模拟低能电子在固体中的散射过程；电子的弹性散射用较严格的Ｍｏｔｔ截面计算；非弹性散射分为等离子激发、导带电子激发及壳层电子激发并由Ｑｕｉｎｎ，Ｓｔｒｅｉｔｗｏｌｆ及Ｇｒｙｚｉｎｓｋｉ的截面描述．对不同能量低能电子作用下不同元素固体中背散射电子、低能损背散射电子表面空间分布作了计算，结果表明低能损背散射电子具有较好的空间分辨率，这对改善背散射电子图象以及电子束曝光检测技术较有意义．

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来源
《山东大学学报：工学版》 |1995年第2期|101-107|共7页
作者
谭震宇; 蒋定举; 何延才;
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作者单位

中国科学院上海硅酸盐研究所;

贵阳职工大学;

山东工业大学电力工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类真空电子学（电子物理学）;
关键词
电子束; 弹性散射; 固体; 背散射电子; 蒙特卡罗法;

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