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离子注入表面的形态变化分析

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摘要

通过对离子注入表面的二维和三维表面粗糙度评定参数的测量和分析，发现各评定参数随注入能量和剂量的变化有不同的变化趋势，对不同能量和剂量分析了注入表面自相关函数和功率谱函数的变化。

著录项

来源
《上海工程技术大学学报》 |1999年第2期|102-109|共8页
作者
王明红; 章宗城;
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作者单位

上海工程技术大学机械工程学院;

中国纺织大学;

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正文语种 CHI
中图分类化学热处理;
关键词
离子注入; 表面粗糙率; 表面形貌学; 金属材料;

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