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SiO2薄膜制备方法、性能及其应用的研究进展

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摘要

cqvip:综述了二氧化硅(SiO2)薄膜的制备方法和研究进展,介绍了磁控溅射、溶胶凝胶法和真空镀等SiO2薄膜制备方法及其优缺点,论述SiO2薄膜在光学、电学和光电等性能研究方面的新进展,最后对SiO2薄膜的应用和发展进行了展望.

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来源
《上海工程技术大学学报》 |2019年第3期|215-218277|共5页
作者
俞立宸; 季鑫; 高磊; 顾雁豪; 周晟吉;
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作者单位

上海工程技术大学数理与统计学院上海201620;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类腐蚀的控制与防护;
关键词
SiO2薄膜; 制备方法; 磁控溅射; 光学性能;

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