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通过改变费米能级钉扎效应制备6H-SiC欧姆接触的特性研究

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摘要

作者通过氧化、刻蚀和沸水处理的方法 ,在n型 6H SiC的C面上制备了线性较好的欧姆接触 .作者对C面和Si面的欧姆接触的退火特性进行了比较和研究 ;并对形成欧姆接触的物理机理进行了讨论 ,研究了这种欧姆接触在大密度电流下的特性 .

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来源
《四川大学学报：自然科学版》 |2002年第3期|492-494|共3页
作者
洪根深; 廖勇明; 廖伟; 丁元力; 邬瑞彬; 刘洪军; 龚敏;
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作者单位

四川大学物理系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体性质;
关键词
6H-SiC; 费米能级钉扎; 欧姆接触;

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