铅基铁电薄膜低温结晶和单层厚度提高及其性能研究

吴小清; 任巍; 姚熹

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非致冷红外焦平面阵列是小型、低功耗和高可靠性红外成像系统的关键组成部分,是国际的研究热点之一.铅基铁电薄膜是制备非致冷红外焦平面阵列的重要材料.然而,在湿化学方法制备铅基铁电薄膜中,有两个因素影响着铁电薄膜与微电子电路的集成一是铁电薄膜的结晶温度较高,一般在550～700℃之间,这一温度超过了常规微电子工艺的温度,导致铁电薄膜工艺与微电子工艺的兼容性差;二是一次成膜厚度薄,一般在0.1～0.2μm之间,大于此厚度的薄膜必需采用多次甩胶-预热处理过程,致使制膜周期冗长,这一工艺过程也降低了铁电薄膜制备工艺与微电子工艺的兼容性.在我们的研究工作中,我们选择聚合物聚醋酸乙烯酯(PVAC)为先体溶液的添加剂,采用金属有机物热分解法,对铅基铁电薄膜制备和性能进行了研究.结果表明PVAC不但能提高薄膜的单层厚度,还可以降低薄膜的结晶温度.通过加入PVAC,获得了单层厚度达到0.83μm、性能优良的PbTi O3和Pb(ZrxTi1-x)O3铁电薄膜,同时将薄膜的结晶温度降低了50～100℃.我们将讨论PVAC和工艺参数对铁电薄膜结晶、成膜特性和电学性能的影响,并对PVAC作用机理进行分析.

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来源
《四川大学学报：自然科学版》 |2005年第s1期|19-19|共1页
作者
吴小清; 任巍; 姚熹;
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作者单位

西安交通大学教育部电子陶瓷与器件教育部重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类功能材料;
关键词
铁电薄膜; 单层厚度; 微电子工艺; 红外焦平面阵列; 电学性能; 微电子电路; 成膜特性; 聚醋酸乙烯酯; 红外成像系统; 金属有机物;

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