RF MEMS并联开关的结构设计及分析

许马会; 刘凤丽; 郝永平

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RF MEMS并联开关的结构设计及分析

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针对传统的RF MEMS开关的开关速度慢、寿命短、功率处理能力低等缺点,设计了一种新的RF MEMS并联开关结构。这种结构不仅能提高开关速度和开关寿命,还能防止粘附和介质击穿问题。首先介绍了RF MEMS并联开关的结构设计,以及如何根据需要确定合理的尺寸;然后利用Coventor Ware软件对开关进行了静态特性分析和动态特性分析,重点分析了开关的吸合电压;最后利用Saber系统仿真法分析了改变开关的不同结构尺寸对吸合电压的影响。

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来源
《四川轻化工大学学报:自然科学版》 |2015年第6期|63-67|共5页
作者
许马会; 刘凤丽; 郝永平;
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作者单位

沈阳理工大学CAD/CAM技术研究与开发中心;

沈阳理工大学机械工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类微动开关;
关键词
RF; MEMS; 并联开关; 特性分析; 吸合电压;

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