并联电容式RF MEMS开关的系统级设计与分析

有德义; 任波; 郝永平

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并联电容式RF MEMS开关的系统级设计与分析

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针对传统设计方法分析RF MEMS开关的周期比较长的缺点,提出了一种基于静电控制的低压并联MEMS开关的系统级设计分析方法,实现了并联电容式RF MEMS开关的快速设计与优化分析.该方法采用Coventorware软件ARCHITECT模块搭建并联电容式RF MEMS开关系统级模型,分析了多物理耦合场下并联电容式RFMEMS开关的动态响应特性,得到位移和电压大小的对应关系曲线.仿真结果表明:系统级分析便于在不同层面上分析和解决问题,结合MEMS器件还可以做相关工艺设计版图分析,便于多次调整参数分析.

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来源
《仪表技术与传感器》 |2014年第4期|1-3|共3页
作者
有德义; 任波; 郝永平;
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作者单位

沈阳理工大学CAD/CAM技术研究与开发中心,辽宁沈阳110159;

沈阳理工大学CAD/CAM技术研究与开发中心,辽宁沈阳110159;

沈阳理工大学CAD/CAM技术研究与开发中心,辽宁沈阳110159;

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正文语种 chi
中图分类微动开关;
关键词
系统级仿真; 微机电系统; 驱动电压; 频域分析; 直流分析;

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