高g_n值悬臂梁式硅微加速度传感器的结构设计

席占稳; 赖百坛

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针对高冲击加速度测量 ,分别就硅微加速度传感器等截面和变截面悬臂梁在不同结构尺寸下的应力状况及固有频率进行了有限元数值模拟 ;对等截面和变截面悬臂梁结构的灵敏度进行了分析比较和数值计算 ,结果都说明了采用变截面悬臂梁结构 ,灵敏度可提高近 30 % ;对选择的变截面悬臂梁结构的加速度传感器其量程为 1 0 0 0 0gn,有足够的抗过载能力 ,且横向灵敏度足够小 .

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来源
《东南大学学报：自然科学版》 |2000年第6期|39-43|共5页
作者
席占稳; 赖百坛;
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作者单位

南京理工大学;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212.102;
关键词
悬臂梁式; 压阻式加速度计; 结构设计; 硅微边速度传感器;

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