实时测量表面形貌的正弦调制半导体激光干涉仪

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• 来源
  《西南师范大学学报：自然科学版》 |2009年第2期|16-20|共5页
• 作者

  谭兴文; 何国田;

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• 作者单位

  西南大学物理科学与技术学院;

  重庆大学电气工程学院;

  重庆师范大学物理学与信息技术学院;

  中国科学院上海光学精密机械研究所;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 能源、光泵（浦）;
• 关键词

  实时测量; 表面形貌; 正弦相位调制干涉仪; 鉴相; 时序控制;