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直流磁控溅射法制备TiO_2薄膜的研究

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论术采用直流磁控溅射法制备TiO2薄膜的实验研究.研究了氧流量、基片温度对制备TiO2薄膜的影响,并测量了薄膜的晶相结构和表面形貌,结果表明制备出了具有锐钛矿晶体结构的TiO2薄膜.

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来源
《西南民族大学学报：自然科学版》 |2009年第6期|1259-1262|共4页
作者
刘子丽; 肖峻; 蒋向东; 孙继伟;
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作者单位

西南民族大学电气信息工程学院;

电子科技大学光电信息学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类固体物理学;
关键词
TiO2薄膜; 直流磁控溅射; 氧流量; 基片温度;

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