340GHz太赫兹返波振荡器

冯进军; 唐烨; 李含雁; 刘京恺; 蔡军; 胡银富; 邬显平

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340GHz太赫兹返波振荡器

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介绍太赫兹返波振荡器的发展，重点对340GHz返波振荡器的设计、模拟和微细加工等研究工作进行了详细介绍。采用平行流电子枪、均匀永磁聚焦系统和折叠波导慢波结构来实现340GHz返波振荡器，计算和模拟结果表明，当调谐电压14kV～16．2kV，工作电流8mA时，在337GHz～347GHz的频率范围内可得到10mW输出功率。高频结构加工采用uVLIGA技术，已经加工出高频结构样品，并对真空环境应用做了研究，以保证较小的表面粗糙度，减小高频率情况下的射频损耗。

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来源
《太赫兹科学与电子信息学报》 |2013年第1期|P.32-37|共6页
作者
冯进军; 唐烨; 李含雁; 刘京恺; 蔡军; 胡银富; 邬显平;
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作者单位

中国电子科技集团公司第12研究所,北京100015;

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正文语种 CHI
中图分类振荡器;
关键词
太赫兹; 真空器件; 返波振荡器; 微机电系统技术; LIGA技术;

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