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杨琴; 刘宇陆; 张海军; 祝长生;
上海大学应用数学与力学研究所,200072,上海;
嘉兴学院数理与信息工程学院,314001,浙江嘉兴;
嘉兴学院机电工程学院,314001,浙江嘉兴;
浙江大学电气工程学院,310027,杭州;
微机电系统; 气体轴承-转子系统; 不平衡响应; 稀薄效应; 双向隐式差分算法;
机译:考虑稀疏效应的微型气体轴承-转子系统不平衡响应
机译:微制造缺陷对电力MEMS中稀释气体润滑微弯曲枢轴倾斜焊盘气体轴承的影响
机译:通过外部加压气体轴承支撑的大型不平衡转子的减振,其具有不对称的气体供应孔(供应气体压力控制系统的有效性验证)
机译:具有支撑高速转子的人字形沟槽气体轴承的多目标优化,考虑到稀薄的气体和真实气体效应
机译:一种有效的建模具有多个单边约束的多体系统动力学的方法(及其在微机电系统(MEMS)中的应用)。
机译:滑动对微型气体轴承性能和微型转子轴承系统稳定性的影响研究
机译:滑动效应对微气体轴承性能和微转子轴承系统稳定性的影响
机译:用于EUVL和mEms应用的微尺度稀薄气体动力学和表面相互作用。
机译:具有调节装置的旋转旋转树的气体轴承系统,用于集中地置换气体轴承,并且操作这种气体轴承系统的步骤。
机译:用作涡轮分子泵的无润滑剂真空泵包括面对轴和/或气体轴承转子并具有硬质层的气体轴承表面
机译:微机电系统微机电系统微机电系统MEMS封装及其制造方法
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