脉冲激光诱导Zn/InP掺杂过程中温度分布的数值计算

黄生荣; 陈朝

首页> 中文期刊> 《厦门大学学报：自然科学版》 >脉冲激光诱导Zn/InP掺杂过程中温度分布的数值计算

脉冲激光诱导Zn/InP掺杂过程中温度分布的数值计算

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

脉冲激光诱导InP的Zn掺杂过程中,金属-半导体分界面附近的温度是影响掺杂浓度和掺杂深度的一个重要因素.确定材料的温度分布有利于合理选择激光功率、辐照时间等工艺参数使表面或界面达到预期的温度.本文分析了脉冲激光诱导InP掺杂Zn的过程,利用数值计算的方法,计算了在简化一维模型下激光辐照过程中材料的温度场分布,得到了材料表面温度、金属-半导体分界面温度与激光脉冲宽度的关系,两者都近似呈线性关系,表面温度和分界面温度相差不大,这与解析方法得到的结果基本相同.研究表明,通过数值方法给出材料中温度场分布情况,可以直接在普通的PC机上计算任意给定时刻材料表面温度和金属-半导体分界面的温度.

著录项

来源
《厦门大学学报：自然科学版》 |2006年第5期|643-645|共3页
作者
黄生荣; 陈朝;
展开▼
作者单位

厦门大学物理学系;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类激光的应用;扩散;
关键词
激光诱导掺杂; 温度分布; Zn/InP;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. Nd:YAG连续激光诱导下InP的Zn掺杂 [J] . 蔡志华 ,田洪涛 ,陈朝 . 量子电子学报 . 2002,第5期
2. ns脉冲激光诱导制备铬掺杂ZnSe纳米粒子独特的生长以及光学特性 [J] . 易家玉 ,冯国英 ,杨超 . 纳米科技 . 2014,第005期
3. Zn掺杂GaInAs／InP结构中极强的外延层内部扩散 [J] . 邸建华 . 发光快报 . 1995,第005期
4. 脉冲激光烧蚀过程中靶材表面熔融前温度分布与激光功率密度分布的研究 [J] . 张磊 ,王秀凤 ,林晓东 . 光学与光电技术 . 2008,第1期
5. 超快脉冲激光烧蚀过程中的靶材温度分布 [J] . 谭新玉 ,欧阳美平 . 三峡大学学报（自然科学版） . 2005,第004期
6. 热洗过程中油井井筒内热洗液温度分布的数值计算 [C] . 张瑶 ,ZHANG Yao ,李婷婷 . 第二十七届全国水动力学研讨会 . 2015
7. 脉冲电流处理对Cu-Zn合金升温相变过程中变体演变及孪晶微观结构的影响 [A] . 李冬雪 . 2013

脉冲激光诱导Zn/InP掺杂过程中温度分布的数值计算

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅