用于微机械加速度计的亚微米工艺ADC设计

于健海; 尹亮

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用于微机械加速度计的亚微米工艺ADC设计

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为了满足高性能微机械加速度计输出数字化的应用需求,基于亚微米工艺提出了一种16位高阶∑Δ模数转换器。采用五阶前馈单比特量化的方法,实现转换器低失真输出。前级积分器采用增益增强折叠共源共栅一级运放结构,提高低频增益,减少前级运放增益非线性对转换器失真的影响。应用积分器输出摆幅优化的方法和开关电容共模反馈电路的方案降低了整体功耗。测试结果表明,当采样频率为8MHz时,小信号输入失真度低于90dB;在低功耗模式下采样频率降低到4MHz,失真度接近90dB。这种高集成大动态范围的五阶前馈∑Δ模数转换器结构实现了16位输出精度,能够满足微机械加速度计的输出信号转换要求。

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来源
《西安电子科技大学学报》 |2019年第3期|140-147|共8页
作者
于健海; 尹亮;
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作者单位

梧州学院电子与信息工程学院;

梧州543002;

哈尔滨工业大学MEMS中心;

哈尔滨150000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类微电子学、集成电路（IC）;
关键词
微机械加速度计; ∑Δ模数转换器; 低失真; 增益增强折叠共源共栅;

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