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非晶硅太阳能电池用气无机气相色谱分析方法研究

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非晶硅太阳能电池用气无机气相色谱分析方法研究蒋文全（北京有色金属研究总院测试所北京，１０００８８）本文详细研究无机气相色谱法对非晶硅太阳能电池制造工艺过程中所用气体的分析方法。不仅提出了特种气体ＳｉＨ＿４，Ｂ＿２Ｈ＿６，ＰＨ＿３，，ＣＨ＿４，等及其混...

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来源
《云南大学学报：自然科学版》 |1994年第s2期|93-93|共1页
作者
蒋文全;
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作者单位

北京有色金属研究总院测试所;

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正文语种 chi
中图分类色谱分析;
关键词
气相色谱法; 制造工艺过程; 色谱分析方法; 色谱固定相; 杂质分析; 保留值; 螯合物; 多维气相色谱仪; 痕量金属; 检测限;

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